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在机台运作中，由于硅片刻蚀能够提升制程维持性能及降低成本，因此可以大幅度提高制造成本。而纳米硅片的生产成本与其他材料相比具有较低的成本优势，因此可以节省大量资源。另外，纳米硅片还可用于机床、电器等设备上。纳米硅片刻蚀技术可应用于机台运作参数及提升制程维持良率，在这种环境下，纳米硅片刻蚀能提供较佳性能。纳米硅片刻蚀可以用于机台的设计及制造，因此可以降低成本并减少对环境的污染。纳米硅片刻蚀是一个非常复杂、且具有较高的良好性与稳定性的技术，它可以应用于监控机台，如电视和手持设备。